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簡要描述：● 采用分光干涉法● 搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)（專zhuan利 第4834847號）● 使用光學光纖，可靈活構筑測量系統(tǒng)● 可嵌入至各種制造設備。● 實時測量膜厚● 可對應遠程操作、多點測量● 采用壽命長、安全性高的白色LED光源
產品型號：廠商性質：生產廠家更新時間：2024-08-30訪 問 量：52產品中心
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詳細介紹
| 品牌 | OTSUKA/日本大冢 |
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多層膜厚解析
光學薄膜（超硬涂層、AR薄膜、ITO等）
FPD相關（光刻膠、SOI、SiO2等）
半導體晶圓的面內分布測量
玻璃基板的面內分布測量
實時測量
流向品質管理
真空室適用
實時測量
寬度方向品質管理
上海波銘科學儀器有限公司主要提供光譜光電集成系統(tǒng)、晶萃光學機械和光學平臺、激光器、Edmund 光學元件、Newport 產品、濱松光電探測器、卓立漢光熒光拉曼光譜儀、是德 Keysight 電學測試系統(tǒng)、大塚 Otsuka 膜厚儀、鑫圖科研級相機、Semilab 半導體測試設備及高低溫探針臺系統(tǒng)。經過多年的發(fā)展，上海波銘科學儀器有限公司在市場上已取得了一定的地位。我們的產品和服務在行業(yè)內具有較高的知zhi名度和美譽度，客戶遍布全國。我們將繼續(xù)努力，不斷提升市場地位和影響力。
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