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當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 光譜系統(tǒng) > 顯微缺陷膜厚 > 高速相位差測量裝置 RE-200
簡要描述:● 可測從0nm開始的低(殘留)相位差● 光軸檢出同時可高速測量相位差(Re.)(相當(dāng)于世界jie最zui快速的0.1秒以下來處理)● 無驅(qū)動部,重復(fù)再現(xiàn)性高● 設(shè)置的測量項目少,測量簡單● 測量波長除了550nm以外,還有各種波長● Rth測量、全quan方位角測量(需要option的自動旋轉(zhuǎn)傾斜治具● 通過與拉伸試驗機組合,可同時評價膜的偏光特性和光弾性(本系統(tǒng)屬特注。)
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詳細(xì)介紹
品牌 | OTSUKA/日本大冢 |
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● 相位差(ρ[deg.], Re[nm])
● 主軸方位角(θ[deg.])
● 橢圓率(ε)?方位角(γ)
● 三次元折射率(NxNyNz)
● 位相差膜、偏光膜、橢圓膜、視野角改善膜、各種功能性膜
● 樹脂、玻璃等透明、非均質(zhì)材料(玻璃有變形,歪曲等)
● 什么是RE-200
● RE-200是光子結(jié)晶素子(偏光素子)、CCD相機構(gòu)成的偏光計測模塊和透過的偏光光學(xué)系相組合,可高速且高精度的測量位相差(相位差)、及主軸方位角。CCD相機1次快門獲取偏光強度模式,沒有偏光子旋轉(zhuǎn)的機構(gòu),系統(tǒng)整體上是屬于小型構(gòu)造,長時間使用也能維持穩(wěn)定的性能。
執(zhí)行擬合/傅立葉變換以計算橢圓度 ε 和方位角 γ。
型號 | RE series |
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樣品尺寸 | 最小10×10mm ~最大100×100mm |
測量波長 | 550nm (標(biāo)準(zhǔn)仕樣)※1 |
相位差測量范圍 | 約0nm ~約1μm |
軸檢出重復(fù)精度 | 0.05°(at 3σ) ※2 |
檢出器 | 偏光計測模塊 |
測量光斑直徑 | 2.2mm×2.2mm |
光源 | 100W 鹵素?zé)艋?LED光源 |
本體?重量 | 300(W) × 560(H) ×430(D) mm 、約20kg |
Option
● Rth測量、全quan方位角測量※治具本體(旋轉(zhuǎn):180°, 傾斜:±50°)
● 動旋轉(zhuǎn)傾斜治具
視角改善膜A
視角改善膜B
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