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當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 光譜系統(tǒng) > 顯微缺陷膜厚 > 膜厚測量系統(tǒng) FE-3700/5700
簡要描述:可以高速、高精度地測量各種玻璃基板上各種薄膜的膜厚和光學(xué)常數(shù)。除了支持包括下一代尺寸在內(nèi)的大型玻璃基板外,它還支持 LCD、TFT 和有機 EL。
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品牌 | OTSUKA/日本大冢 |
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LCD
ITO / Glass, PI / OC / Glass, CF / Glass, Resist / Glass
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SiN / a-Si / 玻璃
有機EL
有機EL / ITO / 玻璃
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介電層/玻璃
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