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●可測量稀薄溶液~濃厚溶液的ZETA電位和粒徑，并可進行分子量測量的檢測裝置。 ●適用于粒徑測量范圍（0.6nm~10um）,濃度范圍（0.00001%~40%）。
利用顯微微分光膜厚計OPTM series的高精度、微小光點，在線提供制作晶片圖案后的微小區(qū)域測量等膜厚信息。
●Φ支持到300mmEFM單元備用端口的集成 ●實現(xiàn)嵌入在晶片中的布線圖案的圖案對齊 ●支持半導體工藝的高吞吐量要求 ●支持槽口對齊功能 ●小尺寸規(guī)格 ●高精度自動校準單元
ZETA電位 · 粒徑 · 分子量測試系統(tǒng)可測量濃度低的溶液～濃度高的溶液的ZETA電位?粒徑及分子量。
QE-2000熒光量子效率測試系統(tǒng)瞬間測量絕.對量子效率。適用于粉末、溶液、固體（膜）、薄膜樣品的測量。通過低雜散光多通道分光檢出器，大大減少了紫外區(qū)域 的雜散光。
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