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半導體材料測試
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對小體積樣品材料力學性質(zhì)進行定量化測試的關鍵技術。
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原子力顯微鏡使用非常小的探針，掃描樣品表面，在原子尺度探測樣品形貌。Semilab的AFM設備，可靈活配置和測試，具備優(yōu)異測試穩(wěn)定性和可靠性。
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光譜型橢偏儀是多功能薄模測試系統(tǒng)，適合各種薄材料的研究。
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