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簡要描述:汞CV測試系統(tǒng),用于對外延或前道工藝中的non-pattemed晶片做汞C-V測試;MCV-530L可測最大200mm的樣品。
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品牌 | 波銘科儀 | 價格區(qū)間 | 面議 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,食品,生物產(chǎn)業(yè),綜合 |
Epi layer characterization
-Dopant Profile-N(x)
-Resistivity Profile-p(x)
Gate metrology
-Oxide thickness-EOT
-Flatland, threshold voltage-VFB,VT
Effective oxide charge-QEFF
-Dielectric constant-k
-Interface state density-Dit
IV measurements of low-k dielectricsStepped voltage, stepped current,
.Constant current modes
-Leakage current-lL
-VBDfor HMET
-Field-to-breakdown-FBD
-KSB, tsb,QBD, Vmax
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